臺(tái)階儀，又名探針式表面輪廓儀，用于樣品表面從微米到納米尺度的輪廓測(cè)量，是微電子、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、高亮度LED、觸摸屏、醫(yī)療、科學(xué)研究和材料科學(xué)等領(lǐng)域不可缺少的關(guān)鍵測(cè)量設(shè)備。長(zhǎng)期以來(lái)，此類(lèi)儀器被美國(guó)Bruke、美國(guó)KLA、日本Kosaka三家廠(chǎng)商壟斷，國(guó)內(nèi)尚無(wú)廠(chǎng)商可提供同類(lèi)產(chǎn)品。

直到2022年6月，松山湖材料實(shí)驗(yàn)室精密儀器研發(fā)團(tuán)隊(duì)自研的臺(tái)階儀出貨交付，實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)化臺(tái)階儀零的突破！

自研的臺(tái)階儀

2020年冬，實(shí)驗(yàn)室組織走訪(fǎng)調(diào)研半導(dǎo)體行業(yè)相關(guān)企業(yè)，了解到企業(yè)進(jìn)口臺(tái)階儀受到一定限制，不少企業(yè)明確提出對(duì)國(guó)產(chǎn)化臺(tái)階儀的需求。為了滿(mǎn)足在當(dāng)前國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)形勢(shì)下的行業(yè)共性需求，避免關(guān)鍵設(shè)備被“卡脖子”的風(fēng)險(xiǎn)，精密儀器研發(fā)團(tuán)隊(duì)當(dāng)即研討立項(xiàng)，將國(guó)產(chǎn)化臺(tái)階儀開(kāi)發(fā)提上日程。

團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人許智指出，臺(tái)階儀的研發(fā)，需要“四個(gè)超”：超精細(xì)的運(yùn)動(dòng)控制，超精密位移傳感，超低噪聲信號(hào)采集，超高平整度零部件等關(guān)鍵技術(shù)。

精密儀器研發(fā)團(tuán)隊(duì)在這些方面均有豐富的經(jīng)驗(yàn)積累和扎實(shí)的技術(shù)儲(chǔ)備，基于此前自主研發(fā)的系列化壓電驅(qū)動(dòng)納米位移臺(tái)產(chǎn)品和掃描探針顯微鏡制備技術(shù)，項(xiàng)目組快速完成方案設(shè)計(jì)，并開(kāi)始功能樣機(jī)、工程樣機(jī)的迭代開(kāi)發(fā)。

回望研發(fā)過(guò)程，可謂“一波三折”，研發(fā)團(tuán)隊(duì)感慨道。由于疫情，人員封控，物流暫停，供應(yīng)商供貨延期，芯片價(jià)格又逐日飆升，研發(fā)進(jìn)度受阻。面對(duì)接踵而至的難題，團(tuán)隊(duì)加班加點(diǎn)攻關(guān)搶進(jìn)度，終于在今年6月研發(fā)成功。訂單交付當(dāng)天，團(tuán)隊(duì)所有人都有一種難以言表的滿(mǎn)足感。

研發(fā)人員調(diào)試樣機(jī)到深夜

精密儀器研發(fā)團(tuán)隊(duì)臺(tái)階儀項(xiàng)目組

至此，國(guó)產(chǎn)化臺(tái)階儀邁出了里程碑式的一步。科技創(chuàng)新的重要性不言而喻，用于科技創(chuàng)新的儀器設(shè)備同樣重要，團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人許智談到，關(guān)鍵測(cè)量?jī)x器設(shè)備實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化，最關(guān)鍵之處就在于實(shí)現(xiàn)了自主可控。

據(jù)了解，現(xiàn)已交付的臺(tái)階儀可滿(mǎn)足企業(yè)實(shí)際使用的指標(biāo)要求，且對(duì)比同類(lèi)進(jìn)口設(shè)備，成本降低了約30%。項(xiàng)目組研制了三種不同測(cè)試需求的型號(hào)，可供客戶(hù)根據(jù)需要選擇相應(yīng)配置，并配套自研軟件實(shí)時(shí)顯示測(cè)量圖表數(shù)據(jù)。目前，團(tuán)隊(duì)正在與十余家有相關(guān)需求的企業(yè)、科研院所洽談合作中。

精密儀器研發(fā)團(tuán)隊(duì)

松山湖材料實(shí)驗(yàn)室精密儀器研發(fā)團(tuán)隊(duì)以自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的技術(shù)為核心，開(kāi)展精密科研儀器和工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備的產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)化。桌面式掃描電子顯微鏡、大行程納米位移臺(tái)等產(chǎn)品為國(guó)內(nèi)唯一量產(chǎn)。等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)、掃描隧道顯微鏡系統(tǒng)等產(chǎn)品達(dá)到國(guó)際一流、國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水平。

團(tuán)隊(duì)產(chǎn)業(yè)化公司東莞市卓聚科技2020年落戶(hù)松山湖國(guó)際創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)社區(qū)，銷(xiāo)售額當(dāng)年破百萬(wàn)元，2021年銷(xiāo)售額超千萬(wàn)元。在松山湖材料實(shí)驗(yàn)室的支持下，精密儀器研發(fā)團(tuán)隊(duì)以國(guó)家戰(zhàn)略為導(dǎo)向，以市場(chǎng)需求為目標(biāo)，力爭(zhēng)成為有擔(dān)當(dāng)、有作為的尖端儀器產(chǎn)業(yè)化隊(duì)伍。