制造芯片是很多國家都在積極推進的產(chǎn)業(yè),光刻機是制造芯片不可或缺的重要設備,我國就突破了一項光刻機核心技術(shù),打破荷蘭壟斷,國產(chǎn)光刻機前景可期。
世界上能生產(chǎn)掃描光刻機設備的公司只有三家左右,荷蘭的ASML公司,中文名字叫做阿斯麥,中國臺灣地區(qū)公司名字叫做艾司摩爾,這是一家位于全球2000強公司排行榜第279名的企業(yè),總部位于荷蘭,也是全球規(guī)模最大的半導體公司。
能夠面向全世界提供半導體產(chǎn)品和設備,生產(chǎn)工藝先進,復雜的精密集成電路設備都處于領先水平。
第二家就是日本的NIKON 尼康公司和CANON日本佳能公司,這兩個名字很多網(wǎng)友都不陌生,雖然現(xiàn)在使用相機的人不多了,但是這兩個公司曾經(jīng)靠相機風靡全球,后來在半導體領域也做出很大的成績。
作為世界光刻機生產(chǎn)三巨頭,荷蘭阿斯麥公司拔得頭籌,而且也頗為自得,對自己的技術(shù)非常自負,甚至曾經(jīng)公開表態(tài),認為其高端的極紫光光刻機技術(shù),中國永遠都無法模仿和突破,而且中國是遵守知識產(chǎn)權(quán)秩序良好的國家,在沒有取得授權(quán)的情況下,更不會去進行私下的模仿。
所以荷蘭的阿斯麥公司很有信心,認為僅憑光刻機產(chǎn)品的技術(shù)壟斷,就能繼續(xù)稱霸國際市場,而中國作為世界上的最大需求進口國,未來依然是阿斯麥公司的客戶,只能被動等待荷蘭公司的產(chǎn)品。
阿斯麥有理由相信,就算讓中國模仿,這種結(jié)構(gòu)復雜的光刻機也不是誰都能簡單復制得了的,極紫光光刻機有著8萬多個零部件,超過九成的零件都是供應商來提供,每個供貨商只能負責自己的那部分零件,沒有任何一家公司能完全生產(chǎn)所有的零部件,這也在一定程度上保證了光刻機的保密和技術(shù)安全。
荷蘭公司需要掌控超過百余家的公司作為供貨商,這些企業(yè)又來自不同的國家,比如反光鏡和光學零部件的供貨來自德國,光源來自美國,計量的零部件設備來自美國,這些是世界上最頂尖的技術(shù)集合在一起,沒有任何一家公司能把世界上最厲害的技術(shù)集合到一起。
荷蘭阿斯麥公司把所有的零部件集中到自己的廠家后進行技術(shù)組裝,按照保密的圖紙和制造工藝把光刻機加工出來,這種技術(shù)是高度保密的,就算買到了光刻機的國家,也無法拆解后進行還原,至少當下這個階段是無法做到的,就像日本的發(fā)動機一樣,只要拆開就是一堆廢品了因為整體都焊接在一起,任何國家都難以進行拆分和組裝,所以這些擁有專利技術(shù)的公司才能安全坐享利潤。
阿斯麥的光刻機都有傳感器,也就是說售出的光刻機禁止拆開,只要正常使用不會報警,一旦想拆開進行分析結(jié)構(gòu)的話,內(nèi)置的傳感器會自動把異常情況回傳給荷蘭的阿斯麥公司,可見對專利技術(shù)的保護已經(jīng)武裝。
在這種情況下,我國就算正常去進口,也被限制購買,因為美國不允許荷蘭向我國提供高端的光刻機,就是為了打壓我國的芯片研發(fā)技術(shù)進展,甚至還扣留了荷蘭阿斯麥公司的設備出口到中國的許可證。
簡而言之,我國的芯片行業(yè)和光刻機行業(yè)可謂很是艱難,但是我國科研領域都是迎難而上,不畏懼外在的壓力和限制,現(xiàn)在已經(jīng)沖破重重阻撓和克服難題,在光刻機的核心系統(tǒng)需要的步進掃描工作臺技術(shù)有了重大突破,這意味著,我國在自主研發(fā)光刻機的領域又邁進一大步。
這個進步就是在光刻機重要的核心構(gòu)造,雙工作臺領域取得的成果。重要性堪稱光刻機的心臟,光刻機運用到的光線,目前是紫外光,深紫外光,和極紫外光集中,把電路圖從磨板轉(zhuǎn)移到硅片上的技術(shù)實現(xiàn)。
光刻機有三個核心部分構(gòu)架,分別是投影物鏡、光源和工作臺,工作臺由硅片臺與掩模臺組成,我國現(xiàn)在就是在雙工作臺方面進行了突破,這項研究是我國的清華大學團隊牽頭,由我國的頂級供貨商華卓精科公司協(xié)助。
光刻機雙工作臺技術(shù)宣布研發(fā)成功,這項技術(shù)的成功是非常了不起的,打破了荷蘭阿斯麥公司在光刻機雙工作臺方面的技術(shù)壟斷,中國的華卓精科光刻機雙工作臺技術(shù),成為繼荷蘭公司后,世界第二家擁有該項技術(shù)的公司。