MEMS全稱是微型電子機(jī)械系統(tǒng)(Micro Electromechanical System)，利用半導(dǎo)體制造工藝和材料，將傳感器、執(zhí)行器、機(jī)械機(jī)構(gòu)、信號(hào)處理和控制電路等集成于一體的微型器件或系統(tǒng)，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級(jí)。

與傳統(tǒng)傳感器相比，MEMS傳感器具有體積小、集成化、智能化、低成本等優(yōu)點(diǎn)，因此已經(jīng)成為傳感器演進(jìn)的關(guān)鍵技術(shù)之一。

MEMS傳感器全球&中國產(chǎn)業(yè)鏈如何？有哪些研發(fā)&代表性的企業(yè)？MEMS在各領(lǐng)域的應(yīng)用情況如何？

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全球MEMS產(chǎn)業(yè)鏈

全球MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)鏈條主要集中在北美、歐洲、日本地區(qū)，其中美國、德國、日本三國占據(jù)全球傳感器產(chǎn)業(yè)鏈主導(dǎo)地位。

從上游到下游，全球MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)鏈可分為研究與開發(fā) 設(shè)計(jì) 制造 封裝 測試 軟件 芯片 系統(tǒng)/應(yīng)用等環(huán)節(jié)。

MEMS傳感器分類及廠家和應(yīng)用

MEMS 傳感器種類很多，也有多種分類方法。按其工作原理，大致可分為MEMS物理、化學(xué)和生物傳感器，其中每一種MEMS傳感器又可分為很多種小類，不同的MEMS 傳感器可以測量不同的量，實(shí)現(xiàn)不同的功能。

全球&中國MEMS傳感器廠商營收排行

從全球MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)鏈看，博世以115億元的營收穩(wěn)居第一，博通以79.61億元占據(jù)第二，兩者遙遙領(lǐng)先其他MEMS傳感器廠商。

中國廠商MEMS業(yè)務(wù)營收相比全球巨頭仍有一定差距，歌爾微電子MEMS業(yè)務(wù)營收約31億元、瑞聲科技11億元、高德紅外5.6億元，為中國MEMS營收前三甲企業(yè)。

全球MEMS產(chǎn)業(yè)鏈器件占比

根據(jù)Yole 的《2021MEMS產(chǎn)業(yè)動(dòng)態(tài)》報(bào)告，MEMS 按產(chǎn)品線劃分，占主導(dǎo)地位的是MEMS射頻器件17.01%，壓力傳感器占比14.68%，慣性組合傳感器占比12.48%，聲學(xué)傳感器占比11.46%，這四大器件為MEMS產(chǎn)業(yè)鏈中應(yīng)用最多的TOP 4 領(lǐng)域，占比均超過10%。

除此之外，加速度傳感器占比9.42%，噴墨打印頭占比6.98%，微型熱輻射傳感器占比4.99%，陀螺儀傳感器占比4.84%，光學(xué)傳感器占比4.4%，硅基微流控制器件占比1.65%，熱電堆傳感器占比1.65%，磁傳感器占比1.46%，其他種類MEMS共計(jì)占比8.97%。

以上為全球MEMS產(chǎn)業(yè)鏈各器件出貨量占比情況，也代表著當(dāng)前各MEMS器件的市場需求大小。

全球MEMS產(chǎn)業(yè)鏈最有前景的應(yīng)用領(lǐng)域和市場

據(jù)Yole的預(yù)計(jì)，2020-2026年MEMS終端市場將以7.2%的年復(fù)合增長率增長。其中，消費(fèi)領(lǐng)域是最大的MEMS應(yīng)用市場，約占全球 MEMS 收入的 60%，到2026年約有112.7億美元的市場。其次是汽車，汽車對(duì)MEMS的需求將從2020年的20.3億美元上升到28.6億美元。剩下的應(yīng)用市場還有工業(yè)領(lǐng)域、醫(yī)療、電信、國防與航空航天等。

從MEMS器件方面來看，Yole預(yù)計(jì)，整體MEMS器件市場在2020年至2026年將以7.2%的年復(fù)合增長率增長，到2026年全球MEMS器件市場空間將達(dá)到182億美元。在這其中，射頻MEMS器件占大頭，到2026年射頻MEMS器件大約有40.4億美元的市場空間，壓力MEMS器件大約是23.62億美元，慣性器件約有21.27億美元，麥克風(fēng)MEMS約是18.71億美元，然后是加速器、噴墨頭、光學(xué)、微型測輻射熱儀、陀螺儀、微流體等等。

全球MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展歷史：3次產(chǎn)業(yè)化浪潮

MEMS 起源可追溯至 20 世紀(jì) 50 年代，硅的壓阻效應(yīng)被發(fā)現(xiàn)后，學(xué)者們開始了對(duì)硅傳感器的研究。然而，MEMS 產(chǎn)業(yè)真正發(fā)展始于 20 世紀(jì) 80 年代，前后經(jīng)歷了 3 次產(chǎn)業(yè)化浪潮。

20 世紀(jì) 80 年代至 90 年代：1983 年 Honeywell 利用大型刻蝕硅片結(jié)構(gòu)和背蝕刻膜片制作了集成壓力傳感器，將機(jī)械結(jié)構(gòu)與電路集成在一個(gè)芯片內(nèi)。80 年代末至 90 年代，汽車行業(yè)的快速發(fā)展，汽車電子應(yīng)用如安全氣囊、制動(dòng)壓力、輪胎壓力監(jiān)測系統(tǒng)等需求增長，巨大利潤空間驅(qū)使歐洲、日本和美國的企業(yè)大量生產(chǎn) MEMS，推動(dòng)了 MEMS 行業(yè)發(fā)展的第一次浪潮。

20 世紀(jì) 90 年代末至 21 世紀(jì)初：本階段早期，噴墨打印頭和微光學(xué)器件的巨大需求促進(jìn)了 MEMS 行業(yè)的發(fā)展。而 2007 年后，消費(fèi)電子產(chǎn)品對(duì) MEMS 的強(qiáng)勁需求，手機(jī)、小家電、電子游戲、遠(yuǎn)程控制、移動(dòng)互聯(lián)網(wǎng)設(shè)備等消費(fèi)電子產(chǎn)品要求體積更小且功耗更低的 MEMS 相關(guān)器件，對(duì) MEMS 產(chǎn)品需求更大，掀起了 MEMS 行業(yè)發(fā)展的第二次產(chǎn)業(yè)化浪潮，并將持續(xù)推動(dòng) MEMS 行業(yè)向前發(fā)展。

2010 年至今：產(chǎn)品應(yīng)用的擴(kuò)展，使 MEMS 行業(yè)呈現(xiàn)新的趨勢。MEMS 產(chǎn)品逐步應(yīng)用于物聯(lián)網(wǎng)、可穿戴設(shè)備等新領(lǐng)域，應(yīng)用場景日益豐富，正漸漸覆蓋人類生活的各個(gè)維度。此外，MEMS 是當(dāng)前移動(dòng)終端創(chuàng)新的方向，新的設(shè)備形態(tài)（如可穿戴設(shè)備）需要更加微型化的器件和更為便捷的交互方式。

然而，物聯(lián)網(wǎng)、可穿戴設(shè)備應(yīng)用助推 MEMS 第三次產(chǎn)業(yè)化浪潮的同時(shí)，行業(yè)仍然面臨來自產(chǎn)品規(guī)格、功率消耗、產(chǎn)品整合以及成本等方面的壓力，MEMS 產(chǎn)品及相關(guān)技術(shù)亟待持續(xù)改進(jìn)，以滿足更小、更低能耗、更高性能的需求。

一、MEMS 傳感器在智能手機(jī)領(lǐng)域的應(yīng)用

1. 光線傳感器

說到手機(jī)中的傳感器，首先要說的就是光線傳感器，它就好比手機(jī)的眼睛。我們?nèi)祟惖难劬梢栽诓煌饩€的環(huán)境下，調(diào)整進(jìn)入眼睛的光線。而光線傳感器則可以讓手機(jī)感測環(huán)境光線的強(qiáng)度，用來調(diào)節(jié)手機(jī)屏幕的亮度。

原理：光敏三極管，接受外界光線時(shí)，會(huì)產(chǎn)生強(qiáng)弱不等的電流，從而感知環(huán)境光亮度。

應(yīng)用：通常用于調(diào)節(jié)屏幕自動(dòng)背光的亮度，白天提高屏幕亮度，夜晚降低屏幕亮度，使得屏幕看得更清楚，同時(shí)不刺眼；可用于拍照時(shí)調(diào)節(jié)自動(dòng)白平衡；用光線傳感器來協(xié)助調(diào)整屏幕亮度，能進(jìn)一步達(dá)到延長電池壽命的作用；光線傳感器也可搭配其他傳感器一同來偵測手機(jī)是否被放置在口袋中，以防止誤觸。

產(chǎn)品代表：ST （意法半導(dǎo)體）——OPT3007

超薄環(huán)境光傳感器，傳感器的精密光譜響應(yīng)與人眼的明視響應(yīng)高度匹配。

應(yīng)用手機(jī)：蘋果iPhone XR、vivo X23、華為Mate 20、三星GALAXY Note 9等。

2. 距離傳感器

光線傳感器和距離傳感器一般都是放在一起，位于手機(jī)屏幕聽筒周圍。這樣就存在一個(gè)問題，手機(jī)屏幕上方開太多洞或黑色長條不太好看，各大手機(jī)廠商都一直在想方設(shè)法減少開孔或者隱藏開孔。

原理：紅外LED燈發(fā)射紅外線，被物體反射后，紅外探測器通過接收到紅外線的強(qiáng)度，測定距離。距離傳感器同時(shí)擁有發(fā)射和接受裝置，一般體積較大。

應(yīng)用：檢測手機(jī)是否貼在耳朵上正在打電話，以便自動(dòng)關(guān)閉屏幕達(dá)到省電的目的；也可用于皮套、口袋模式下自動(dòng)實(shí)現(xiàn)解鎖與鎖屏動(dòng)作。

產(chǎn)品代表：TAOS——TMD2772

主要由紅外發(fā)射、光線接收、模數(shù)轉(zhuǎn)化、I2C接口等幾部分組成。

3.重力傳感器

原理：利用壓電效應(yīng)實(shí)現(xiàn)，傳感器內(nèi)部一塊重物和壓電片整合在一起，通過正交兩個(gè)方向產(chǎn)生的電壓大小，來計(jì)算出水平方向。

應(yīng)用：手機(jī)橫豎屏智能切換；拍攝照片方向；重力感應(yīng)類游戲，例如平衡球、賽車游戲等。

產(chǎn)品代表：蘋果研發(fā)的重力感應(yīng)設(shè)備。

4. 加速度傳感器

原理：加速度傳感器是多個(gè)維度測算的，主要測算一些瞬時(shí)加速或減速的動(dòng)作。功耗更小，但是精度低。

應(yīng)用：計(jì)步，加速度傳感器可以檢測交流信號(hào)以及物體的振動(dòng)。人在走動(dòng)的時(shí)候會(huì)產(chǎn)生一定規(guī)律性的振動(dòng)，而加速度傳感器可以檢測振動(dòng)的過零點(diǎn)，從而計(jì)算出人所走的步或跑步所走的步數(shù)，從而計(jì)算出人所移動(dòng)的位移，并且利用一定的公式可以計(jì)算出卡路里的消耗；日常應(yīng)用中的一些甩動(dòng)切歌、翻轉(zhuǎn)靜音等。

產(chǎn)品代表：ST意法半導(dǎo)體——LSM330D

可測量250dps至2000dps的俯仰、滾轉(zhuǎn)和偏航軸角速度。

5. 磁場傳感器

原理：各向異性磁致電阻材料，感受到微弱的磁場變化時(shí)會(huì)導(dǎo)致自身電阻產(chǎn)生變化，所以手機(jī)要旋轉(zhuǎn)或晃動(dòng)幾下才能準(zhǔn)確指示方向。

應(yīng)用：指南針、地圖導(dǎo)航方向、金屬探測器APP。

產(chǎn)品代表：ADI（亞德諾）——ADA4571

對(duì)氣隙變化的敏感度非常小。

6. 陀螺儀

原理：角動(dòng)量守恒，一個(gè)正在高速旋轉(zhuǎn)的物體(陀螺)，它的旋轉(zhuǎn)軸沒有受到外力影響時(shí)，旋轉(zhuǎn)軸的指向是不會(huì)有任何改變的。陀螺儀就是以這個(gè)原理作為依據(jù)，用它來保持一定的方向。一般手機(jī)里標(biāo)配的是三軸陀螺儀，可追蹤6個(gè)方向的位移變化。

應(yīng)用：一些射擊或賽車游戲；3D拍照、全景導(dǎo)航等。

產(chǎn)品代表：NXP（恩智浦）——FXAS21002C

3軸數(shù)字陀螺儀，適用于游戲控制器、電子羅盤穩(wěn)定、增強(qiáng)運(yùn)動(dòng)控制等應(yīng)用。

7. GPS

原理：手機(jī)GPS模塊通過天線接收GPS衛(wèi)星傳送的信息。模塊中的芯片根據(jù)高速運(yùn)動(dòng)的衛(wèi)星瞬間位置作為起算數(shù)據(jù)，根據(jù)衛(wèi)星發(fā)射坐標(biāo)的時(shí)間戳與接收時(shí)的時(shí)間差計(jì)算出衛(wèi)星與手機(jī)的距離，采用空間距離后方交會(huì)的方法，確定待測點(diǎn)的位置坐標(biāo)。

應(yīng)用：地圖、導(dǎo)航、測速、測距。

產(chǎn)品代表：Fastrax——UP501

可以在惡劣條件下進(jìn)行高性能的導(dǎo)航，甚至在較低的GPS衛(wèi)星可見度環(huán)境下實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的定位。

8. 指紋傳感器

目前，電容式指紋識(shí)別和超聲波指紋識(shí)別應(yīng)用比較廣泛。

電容指紋傳感器原理：手指構(gòu)成電容的一極，另一極是硅晶片陣列，通過人體帶有的微電場與電容傳感器間形成微電流，指紋的波峰波谷與感應(yīng)器之間的距離形成電容高低差，從而描繪出指紋圖像。

超聲波指紋傳感器原理：利用超聲波，直接掃描并測繪指紋紋理。超聲波獲得的指紋是3D立體的，而電容指紋是2D平面的。超聲波不僅識(shí)別速度更快、而且不受汗水油污的干擾、指紋細(xì)節(jié)更豐富難以破解。

應(yīng)用：加密、解鎖、支付等。

產(chǎn)品代表：新思科技——Clear ID FS9500

僅有1.55mm，能夠直接放置在柔性屏幕下邊或直接集成在屏幕中。

9. 霍爾感應(yīng)器

原理：霍爾磁電效應(yīng)，當(dāng)電流通過一個(gè)位于磁場中的導(dǎo)體的時(shí)候，磁場會(huì)對(duì)導(dǎo)體中的電子產(chǎn)生一個(gè)垂直于電子運(yùn)動(dòng)方向上的的作用力，從而在導(dǎo)體的兩端產(chǎn)生電勢差。

應(yīng)用：自動(dòng)解鎖、自動(dòng)鎖屏等。

產(chǎn)品代表：Diodes——AH1883

卓越的溫度穩(wěn)定性，對(duì)身體壓力不敏感。

10. 氣壓傳感器

原理：分為變?nèi)菔交蜃冏枋綒鈮簜鞲衅?，將薄膜與變阻器或電容連接起來，氣壓變化導(dǎo)致電阻或電容的數(shù)值發(fā)生變化，從而獲得氣壓數(shù)據(jù)。

應(yīng)用：GPS計(jì)算海拔會(huì)有十米左右的誤差，氣壓傳感器主要用于修正海拔誤差(將至1米左右)，當(dāng)然也能用來輔助GPS定位立交橋或樓層位置。

產(chǎn)品代表：TI（德州儀器）——BMP180

高精度、小體積、超低能耗的氣壓傳感器。

二、MEMS 傳感器在汽車領(lǐng)域的應(yīng)用

隨著汽車安全應(yīng)用與降低碳排放的關(guān)注度日益提升，MEMS 傳感器在汽車電子領(lǐng)域的滲透率逐漸提高，除此之外，無人駕駛等新興技術(shù)也推動(dòng)著MEMS 傳感器進(jìn)一步普及。

2010 年全球平均每輛汽車包含9.2 個(gè)傳感器，中國汽車含有5 個(gè)，但中國擴(kuò)大部署安全氣囊和輪胎壓力監(jiān)測系統(tǒng)(TPMS)，將推動(dòng)中國汽車平均傳感器數(shù)量到2015 年增加到10 個(gè)，在每輛汽車中，光TPMS 系統(tǒng)就要使用4.2 個(gè)汽車MEMS 傳感器，目前中國已超越日本成為第三大汽車MEMS 市場。

目前汽車上常見的傳感器有加速度計(jì)、陀螺儀、電子羅盤、氣壓計(jì)、紅外傳感器、超聲波傳感器、激光測距儀、雷達(dá)傳感器等。

應(yīng)用于汽車的MEMS 傳感器

三、MEMS 傳感器在可穿戴設(shè)備領(lǐng)域的應(yīng)用

在可穿戴智能設(shè)備上，傳感器的使用更為廣泛。Apple Watch 配置的MEMS 傳感器超

過十種。

• 加速度傳感器：測量身體運(yùn)動(dòng)，并且可以記錄用戶步數(shù)以及睡眠習(xí)慣。
• 陀螺儀：可以偵測轉(zhuǎn)動(dòng)，此外，陀螺儀還能讓iWatch“感知”用戶，比如舉起手腕準(zhǔn)備看表時(shí)，屏幕自動(dòng)亮起。
• 磁力計(jì)：可以用來提升運(yùn)動(dòng)追蹤的準(zhǔn)確性。
• 晴雨表/氣壓傳感器：提供更準(zhǔn)確的天氣數(shù)據(jù)，感知海拔高度的變化
• 環(huán)境溫度傳感器：提供更準(zhǔn)確的生物數(shù)據(jù)
• 心率監(jiān)控儀：進(jìn)行心率監(jiān)控
• 血氧傳感器：測量血氧值，對(duì)于準(zhǔn)確的脈搏率檢測至關(guān)重要
• 皮膚電導(dǎo)傳感器：計(jì)算用戶的排汗量
• 皮膚溫度傳感器：可以幫助用戶了解自己的健身強(qiáng)度
• GPS：GPS 可以幫助我們了解自己要去哪里，去過哪里

應(yīng)用于Apple Watch 的MEMS 傳感器

四、MEMS 傳感器在物聯(lián)網(wǎng)領(lǐng)域的應(yīng)用

物聯(lián)網(wǎng)（IoT）是把任何物品與互聯(lián)網(wǎng)連接起來，進(jìn)行信息交換和通訊，以實(shí)現(xiàn)智能化識(shí)別、定位、跟蹤、監(jiān)控和管理的一種網(wǎng)絡(luò)。簡而言之，物聯(lián)網(wǎng)就是“物物相連的互聯(lián)網(wǎng)”。

傳感器作為物聯(lián)網(wǎng)三大層次結(jié)構(gòu)之一的感知層的重要組成部分，將現(xiàn)實(shí)世界中的物理量、化學(xué)量、生物量等轉(zhuǎn)化成可供處理的數(shù)字信號(hào)，是實(shí)現(xiàn)物聯(lián)網(wǎng)的基礎(chǔ)和前提，同時(shí)MEMS（微機(jī)電）技術(shù)作為支撐技術(shù)，在物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展中起著至關(guān)重要的作用。

MEMS 的傳感器發(fā)展共經(jīng)歷了三個(gè)階段，分別對(duì)應(yīng)不同的驅(qū)動(dòng)力。2000 年左右是汽車電子、2007 年左右是智能手機(jī)、2013 年左右是可穿戴設(shè)備，下一個(gè)驅(qū)動(dòng)MEMS 的傳感器發(fā)展的動(dòng)力是物聯(lián)網(wǎng)，業(yè)界預(yù)測全球傳感器需求有望從當(dāng)前的百億級(jí)激增到2025年的Trillion-Sensor（TSensor，萬億-傳感器）量級(jí)。

MEMS 發(fā)展線路圖

MEMS 技術(shù)在可穿戴設(shè)備、智能家居、醫(yī)療、工業(yè)4.0、智能汽車、智慧城市等IOT 細(xì)分領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用，常見的MEMS 傳感器諸如麥克風(fēng)、體聲波濾波器、壓力傳感器、溫度傳感器等都存在豐富的應(yīng)用場景。

MEMS 產(chǎn)品在IOT 應(yīng)用廣泛

五、MEMS傳感器在無人機(jī)的應(yīng)用

1、加速度計(jì)：加速度計(jì)用于確定位置和無人機(jī)的飛行姿態(tài)。像任天堂Wii控制器或iPhone屏幕位置，這些小的MEMS傳感器在維持飛行控制中起到關(guān)鍵的作用。MEMS加速度傳感器有多種方式感知運(yùn)動(dòng)姿態(tài)，一種類型的技術(shù)能夠感知微型集成電路的微小運(yùn)動(dòng)。另一種加速度計(jì)的技術(shù)為熱對(duì)流技術(shù)，沒有移動(dòng)部件，而是通過一個(gè)“熱氣團(tuán)”的位移來感知的運(yùn)動(dòng)變化。這類傳感器靈敏度較高，在穩(wěn)定車載攝像機(jī)、電影制作等應(yīng)用起著至關(guān)重要的作用。

2、慣性測量單元：慣性測量單元結(jié)合GPS是維持方向和飛行路徑的關(guān)鍵。隨著無人機(jī)智能化的發(fā)展，方向和路徑控制是重要的空中交通管理規(guī)則。慣性測量單元采用的多軸磁傳感器，在本質(zhì)上都是精準(zhǔn)度極高的小型指南針，通過感知方向?qū)?shù)據(jù)傳輸至中央處理器，從而指示方向和速度。

3、傾角傳感器：傾角傳感器，集成了陀螺儀和加速度計(jì)為飛行控制系統(tǒng)提供保持水平飛行的數(shù)據(jù)。這類傳感器和陀螺儀，結(jié)合加速度計(jì)，能夠測量到細(xì)微的運(yùn)動(dòng)變化，使得傾角傳感器能夠應(yīng)用于移動(dòng)程序，如汽車或無人駕駛飛機(jī)的陀螺儀補(bǔ)償。

4、大氣監(jiān)測傳感器：空氣質(zhì)量的好壞，是人們最關(guān)注的一個(gè)話題。實(shí)時(shí)監(jiān)測空氣質(zhì)量好壞，大氣污染程度已經(jīng)成為一個(gè)熱點(diǎn)，當(dāng)然大氣監(jiān)測傳感器在其中就起著至關(guān)重要的作用。目前 煒盛科技的大氣監(jiān)測傳感器已被廣泛應(yīng)用于城市大氣環(huán)境監(jiān)測、工廠廠區(qū)無組織排放污染氣體監(jiān)測以及環(huán)境評(píng)價(jià)監(jiān)測等?？杀O(jiān)測多種氣體，包括：臭氧、一氧化碳、 二氧化硫、二氧化氮等。

5、電流傳感器：無人機(jī)上的電能消耗和使用非常重要，尤其是在電池供電的情況下。電流傳感器可用于監(jiān)測和優(yōu)化電能消耗，確保無人機(jī)內(nèi)部電池充電和電機(jī)故障檢測系統(tǒng)的安全。電流傳感器工作通過測量電流（雙向），理想的情況下提供電氣隔離，以減少電能損耗和消除電擊損壞用戶系統(tǒng)的機(jī)會(huì)。

6、磁傳感器：在無人機(jī)，電子羅盤提供關(guān)鍵性的慣性導(dǎo)航和方向定位系統(tǒng)的信息?；诟飨虍愋源抛瑁ˋMR）技術(shù)的傳感器，較其他傳感器相比有明顯的地功耗優(yōu)勢，同時(shí)具有高精度、響應(yīng)時(shí)間短等特點(diǎn)，非常適用于無人機(jī)的應(yīng)用。

7、發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)氣流量傳感器：流量傳感器可以用于有效地監(jiān)測電力無人機(jī)燃?xì)獍l(fā)動(dòng)機(jī)的微小空氣流速。許多氣體發(fā)動(dòng)機(jī)質(zhì)量流量傳感器都采用熱式技術(shù)，主要利用加熱的元件和至少一個(gè)溫度傳感器來量化質(zhì)量流量。MEMS熱式氣體質(zhì)量流量傳感器也在微計(jì)量范圍內(nèi)利用熱原理及其適用于對(duì)重量要求較高的領(lǐng)域。

六、MEMS傳感器在智慧工業(yè)時(shí)代的應(yīng)用

智能工廠利用物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)加強(qiáng)信息管理和服務(wù)，掌握產(chǎn)銷流程、提高生產(chǎn)過程的可控性、減少生產(chǎn)線上人工的干預(yù)、及時(shí)正確地采集生產(chǎn)線數(shù)據(jù)，以合理的安排生產(chǎn)計(jì)劃與生產(chǎn)進(jìn)度，并優(yōu)化供應(yīng)鏈。傳感器應(yīng)用非常廣泛，工業(yè)生產(chǎn)各個(gè)環(huán)節(jié)都需要傳感器進(jìn)行監(jiān)測，并把數(shù)據(jù)反饋給控制中心，以便對(duì)出現(xiàn)異常節(jié)點(diǎn)進(jìn)行及時(shí)干預(yù)，保證工業(yè)生產(chǎn)正常進(jìn)行。

業(yè)界普遍認(rèn)為，新一代的智能傳感器是智能工業(yè)的“心臟”，它讓產(chǎn)品生產(chǎn)流程持續(xù)運(yùn)行，并讓工作人員遠(yuǎn)離生產(chǎn)線和設(shè)備，保證人身安全和健康。

智能工廠應(yīng)用場景

MEMS讓傳感器小型化、智能化，MEMS傳感器將在智慧工業(yè)時(shí)代大有可為。MEMS溫度、濕度傳感器可用于環(huán)境條件的檢測，MEMS加速度計(jì)可以用來監(jiān)測工業(yè)設(shè)備的振動(dòng)和旋轉(zhuǎn)速度。

高精度的MEMS加速度計(jì)和陀螺儀可以為工業(yè)機(jī)器人的導(dǎo)航和轉(zhuǎn)動(dòng)提供精確的位置信息。

來源：傳感器專家網(wǎng)、ittbank、半導(dǎo)體行業(yè)觀察（由動(dòng)感傳感匯編，轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明傳感器專家網(wǎng)）

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